German Future Prize 2020:TRUMPF、ZEISS、FraunhoferのEUV開発者がノミネートされました!

連邦大統領府は本日、ミュンヘンのドイツ博物館の名誉の殿堂で、2020年ドイツ未来賞の候補者を発表しました。 連邦大統領の技術革新賞の最終ラウンドのXNUMXつのプロジェクトである最高のグループには、TRUMPF、ZEISS、FraunhoferIOFの専門家チームがいます。彼らのプロジェクト「EUVリソグラフィー-デジタル時代の新しい光」 "、博士。 Peter Kurz、ZEISS Semiconductor Manufacturing Technology(SMT)部門、Dr。 MichaelKösters、半導体製造用TRUMPF Lasersystems、およびDr. イエナのフラウンホーファー応用光学および精密力学IOFのSergiyYulinがノミネートされました。

EUVリソグラフィーを可能にする光を生成するために使用される世界で最も強力なパルス産業用レーザーの前にいる専門家のチーム(左から):博士。 Peter Kurz、ZEISS SMT部門、Dr。 MichaelKösters、半導体製造用TRUMPFレーザーシステムおよびDr. Sergiy Yulin、フラウンホーファー応用光学および精密力学研究所IOF
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